根據(jù)現(xiàn)在最常用的硅單晶直拉法減壓拉晶工藝响驴，真空系統(tǒng)一般都配備滑閥式真空泵疯坤。但隨著大直徑款违、重?fù)诫s等特殊要求的硅單晶需求量的增加油猫，對單晶爐設(shè)備的要求也越來越高夕凝，采用滑閥式真空泵的缺點也日益顯現(xiàn)铃绒。為了提高生產(chǎn)效率鸽照，降低成本，也為了保證器件參數(shù)的一致性匿垄、可靠性移宅，都希望直拉單晶大直徑化，設(shè)備控制高度自動化椿疗，從抽空到拉晶結(jié)束全部自動化控制漏峰，且穩(wěn)定性、可靠性極好的大型直拉單晶設(shè)備届榄。為了提高單晶的內(nèi)在質(zhì)量或者某方面參數(shù)的特殊要求浅乔，普諾克通過改造真空系統(tǒng)，將水環(huán)式真空泵應(yīng)用在直拉單晶爐設(shè)備上铝条，以提高直拉單晶爐的整體性能靖苇。下面跟著小編一起來了解改造好的真空系統(tǒng)在直拉單晶爐上的應(yīng)用有什么變化吧。

直拉單晶爐班缰，包括爐體贤壁，爐體包括爐座和爐腔，爐腔設(shè)置在爐座上埠忘，爐體內(nèi)設(shè)有加熱裝置和直拉成型裝置脾拆，加熱裝置包括石英坩堝、石墨坩堝莹妒、加熱器和石墨電極名船，石墨坩堝包裹在石英坩堝的外側(cè)，加熱器設(shè)置在石墨坩堝的外側(cè)旨怠，石墨電極設(shè)置在加熱器的底端渠驼，直拉成型裝置包括豎直設(shè)置的籽晶軸和坩堝軸，籽晶軸設(shè)置在石英坩堝的上方鉴腻，坩堝軸設(shè)置在石英坩堝的底部迷扇，籽晶軸的上方設(shè)有與籽晶軸相連接的籽晶軸驅(qū)動裝置百揭，坩堝軸的底部設(shè)有坩堝軸驅(qū)動裝置。

滑閥泵是用油來保持密封的機(jī)械真空泵的蜓席，由于它的滑閥環(huán)與泵腔有一定間隙信峻，兩者不接觸，可抽含有微小塵埃的氣體瓮床。在單晶正常生長過程中，滑閥泵將會帶走由于高溫而產(chǎn)生出來的硅氧化物和雜質(zhì)揮發(fā)物产镐，這些雜質(zhì)大部分會進(jìn)入泵腔隘庄，與真空泵油混合在一起。由于硅單晶生長時間比較漫長癣亚，特別是大直徑的硅單晶生長時間更長丑掺，隨著時間的增加，真空泵油里的雜質(zhì)也越積越多述雾，從而使真空泵油的黏稠度也越來越大街州，導(dǎo)致真空泵負(fù)荷增大，抽速下降玻孟，嚴(yán)重的會造成真空泵不能正常工作唆缴。因此需要定期更換真空泵油，這樣做還可延長真空泵壽命黍翎。但頻繁的更換真空泵油面徽，不但維護(hù)費用高而且在一個拉晶工藝過程中是無法實現(xiàn)的。特別是在拉重?fù)缴榈葎《緭诫s元素的硅單晶時匣掸，有一部分砷等劇毒元素融入真空泵油中趟紊，使得真空泵的維護(hù)更加困難，含有砷等劇毒摻雜元素的真空泵油處理是件很棘手的事碰酝。

針對上述的問題霎匈，改進(jìn)后的真空系統(tǒng)在直拉單晶爐上的應(yīng)用，既可以使用水環(huán)泵作為主泵送爸，也可當(dāng)旁路真空球閥關(guān)閉的時候铛嘱，使用滑閥泵作為主泵，滿足不同拉晶工藝的需要碱璃。當(dāng)使用水環(huán)泵作為主泵時弄痹，正常拉晶產(chǎn)生的硅氧化物和雜質(zhì)揮發(fā)物都被抽到了水環(huán)泵里，溶于水環(huán)泵的水中嵌器，水環(huán)泵的水不斷地循環(huán)更新肛真，確保了水的清潔，使得水環(huán)泵能正常工作爽航，不會因為拉晶時間太長蚓让，影響水環(huán)泵的工作性能乾忱，從而維持正常抽速，保證爐膛內(nèi)的真空度穩(wěn)定历极。排出的水經(jīng)過處理還可以重復(fù)使用窄瘟，這樣不但維護(hù)方便而且費用低，特別是拉重?fù)缴榈葎《緭诫s元素的硅單晶時趟卸，砷等劇毒摻雜元素融入水中后比較容易被分離收集蹄葱，減少對環(huán)境影響。