2019-11-05
螺桿真空泵在平板顯示器中的應用
伴隨著上述無時無刻不在屏讀的奇幻未來的是高速發(fā)展的顯示面板產(chǎn)業(yè)邓线。面板的生產(chǎn)制造過程非常繁復夕晓,從一塊玻璃基板到出廠成品至少需要 300 道流程工藝抄课,全程需在無塵的環(huán)境虏两、精密的技術工藝下進行。所以铛只,高度可靠的真空供應在面板生產(chǎn)過程中尤為重要埠胖。平板顯示器生產(chǎn)商現(xiàn)采用干式螺桿真空泵技術為其高負荷的L/L糠溜,CVD,PVD押袍,刻蝕诵冒,溶劑蒸發(fā)等工藝流程供應真空凯肋。本篇文章打算介紹下螺桿真空泵在平板顯示器中的應用谊惭。
平板顯示器(FPD)制造制程需要能夠支持巨大加工室,并在最大可靠性的情況下輸送高氣體流速的真空和減排設備侮东。需要使用普諾克真空設備來泵送有毒圈盔、自燃和腐蝕性氣體,并處理制造制程艙中形成的大量固態(tài)制程副產(chǎn)物悄雅。
在平板顯示器中驱敲,為什么會選擇采用普諾克螺桿真空泵?
選擇使用干式螺桿真空泵的原因宽闲,其實跟它的產(chǎn)品特點有關系众眨,它具備以下三點優(yōu)點:
1、高度可靠性
Pronotek干式螺桿真空泵尤其高效容诬,得益于其久經(jīng)考驗的雙螺桿設計和智能溫度管理娩梨,該系列真空泵即使在最惡劣的應用環(huán)境中也具有高度可靠性及較長的使用壽命。
2览徒、配備節(jié)能模式功能狈定,可大量節(jié)省能耗
Pronotek干式螺桿真空泵配備了高能效電機和世界先進的節(jié)能模式功能,控制系統(tǒng)會自動根據(jù)需求調(diào)整為節(jié)能模式习蓬,而當需要的時候恢復到最大抽速模式纽什,從而節(jié)省大量能耗。
3躲叼、維護及運行成本最小化
它的一小部分部件包括轉子是一件式制成芦缰,得益于模塊化設計以及獨立的羅茨泵和螺桿泵框架,輕輕松松即可進行安裝和維護枫慷,大幅降低了大修成本让蕾。由于該真空泵采用最優(yōu)化的空間設計,并具有節(jié)能潛力流礁,因此運行成本很低涕俗。
由多臺干式螺桿泵與羅茨泵組合而成的真空系統(tǒng)是平板顯示應用的最佳解決方案,例如:用于進出片室的快速抽空神帅、過渡室和薄膜沉積室的抽空再姑。在同類泵中,它們提供最快的抽空時間和最高的抽速找御。通過標準化設計元镀,普諾克真空其使所提供系統(tǒng)具有極高的用戶友好性绍填。用戶還可得益于諸如電氣連接、吹掃氣體和冷卻水等的標準化接口栖疑、方便的設備維護及優(yōu)化的備泵管理讨永。
以上內(nèi)容就是螺桿真空泵在平板顯示器中的應用,如果想要了解更多遇革,可以聯(lián)系我們公司的卿闹。東莞市普諾克真空科技有限公司可根據(jù)平板顯示器生產(chǎn)中CVD、PVD萝快、刻蝕锻霎、PR 涂層、成盒揪漩、OLED 蒸鍍旋恼,封裝、離子注入等不同工藝需求奄容,為客戶量身定制專業(yè)的真空解決方案冰更。
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