試驗真空環(huán)境模擬為了考核和研究某些活動部件茶行、伸展機構(gòu)的干摩擦变擒、冷焊性能和研究材料在真空條件下的升華扣癣、重量損失基跑、老化等效應(yīng)蒲障，需要在更高的真空度和其他空間環(huán)境因素的組合下進行試驗。大家都知道現(xiàn)在真空系統(tǒng)在各個行業(yè)的應(yīng)用越來越廣泛萎战，下面我們?yōu)榇蠹医榻B一下現(xiàn)在常用的真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)在熱真空試驗設(shè)備中的應(yīng)用吧咐容。

普諾克真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路撞鹉、光電器件的制造工藝過程疟丙，是集成電路專用設(shè)備中的關(guān)鍵設(shè)備之一颖侄；它也用于各種其它鍍膜設(shè)備和真空應(yīng)用設(shè)備中鸟雏。

熱真空試驗是指在真空和一定的溫度條件下驗證航天器及其組件各種性能與功能的試驗享郊，由冷浸、熱浸與變溫過程組成孝鹊。其環(huán)境條件為真空度優(yōu)于6.5×10-3Pa炊琉；具有冷黑背景，半球法向發(fā)射率大于0.90又活。在模擬試驗時苔咪，試件多處于工作狀態(tài)并測量其工作參數(shù)和環(huán)境參數(shù)。冷浸是使航天器及其組件處于規(guī)定的試驗最低溫度柳骄，并停留規(guī)定的時間团赏；熱浸是使其處于規(guī)定的試驗最高溫度，并停留規(guī)定的時間耐薯。從室溫開始降至規(guī)定的試驗最低溫度舔清，實行冷浸再上升至規(guī)定的試驗最高溫度，實習(xí)熱浸曲初，最后回到室溫体谒，成為一個溫度循環(huán)。

熱真空試驗設(shè)備又稱空間環(huán)境模擬設(shè)備或空間模擬器臼婆，它是模擬衛(wèi)星及其組件在軌道運行中的高真空條件下抒痒，對衛(wèi)星組件進行考驗，這就是通常說的組件熱真空試驗颁褂。熱真空試驗箱主要由真空容器故响、熱沉與輻射屏、試驗平臺颁独、制冷被去、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)奖唯、真空系統(tǒng)惨缆、循環(huán)水系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)丰捷、測量與控制系統(tǒng)及安全保護系統(tǒng)組成坯墨。

普諾克真空系統(tǒng)在熱真空試驗設(shè)備中的應(yīng)用的使用說明

真空系統(tǒng)在投入生產(chǎn)使用前，必須仔細檢查各部位緊固件是否有松動現(xiàn)象病往，若有松動必須校正擰緊捣染。開車前水箱必須加滿水，打開泵進口閥停巷，再運行耐腐泵耍攘，嚴禁泵脫水空轉(zhuǎn)及反轉(zhuǎn)榕栏，以防止損壞機封、葉輪及泵體其它部件蕾各。真空系統(tǒng)停車前先打開放空閥或等真空度降至0.092MPa以下扒磁，再停車。以防真空度過高形成倒吸損壞止回閥式曲。（如止回閥失靈妨托，請打開止回閥蓋，清除雜物）吝羞。在使用汽水串聯(lián)噴射真空系統(tǒng)時兰伤，先開車再打開蒸汽閥，停車時先關(guān)掉蒸汽閥再停車钧排，以防止溫度過高而損壞水噴射真空泵敦腔。真空系統(tǒng)在安裝蒸汽管路時，管路一定要保持水平恨溜，防止管內(nèi)有積水符衔，否則將影響真空效果。水箱內(nèi)的循環(huán)水應(yīng)經(jīng)常更換或補充筒捺，盡量保持較底的水溫柏腻，因為水溫過高會影響排氣量和真空度。