東莞市普諾克真空科技有限公司旗下的旋片真空泵在微電子工業(yè)中成功應用。旋片真空泵多為中小型真空泵。旋片真空泵有單級旋片真空泵和雙級真空泵兩種翰撑。所謂雙級旋片真空泵，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度幅虑。

微電子技術(shù)要求電子元器件和電路的尺寸越來越小，集成度要求越來越高顾犹。這與真空技術(shù)的應用密不可分倒庵，特別是超大規(guī)模集成電路的微細加工技術(shù)，其幾何圖形結(jié)構(gòu)的形成炫刷、超薄層生長技術(shù)擎宝、粒子束注入技術(shù)都需要高質(zhì)量、清潔的真空環(huán)境浑玛，可見其發(fā)展對真空技術(shù)绍申、裝備的依存性。目前锄奢，當今的超大規(guī)模集成電路的工序需要有真空條件（旋片真空泵能夠提供）失晴。

因此，微電子技術(shù)中拘央，進口旋片真空泵在這起到一定的作用。

微電子技術(shù)是建立在以集成電路為核心的各種半導體器件基礎(chǔ)上的高新電子技術(shù)书在，特點是體積小灰伟、重量輕、可靠性高儒旬、工作速度快栏账，微電子技術(shù)對信息時代具有巨大的影響。

微電子技術(shù)是在傳統(tǒng)的電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的栈源。之所以稱之為“微電子”挡爵，顧名思義就是由于它是在微小的范疇內(nèi)的一種先進技術(shù)，其特征是“四微”：①它對信號的加工處理是在一種固體內(nèi)的微觀電子運動中實現(xiàn)的甚垦；②它的工作范圍是固體的甚至晶格級微區(qū)茶鹃；③對信號的傳遞交換只在極微小的尺度內(nèi)進行涣雕；④它的容積很大，可以把一個電子功能部件闭翩，甚至一個子系統(tǒng)集成在一個微型芯片上挣郭。總之疗韵，微電子技術(shù)是指在幾乎肉眼看不見的范圍內(nèi)進行工作的一種獨特而神奇的特種技術(shù)兑障。

微電子技術(shù)對電子產(chǎn)品的消費者市場也產(chǎn)生了深遠的影響。價廉蕉汪、可靠流译、體積小、重量輕的微電子產(chǎn)品層出不窮者疤。電子技術(shù)產(chǎn)品和微處理器不再是專門的科學儀器世界的貴族先蒋，而落戶于各式各樣的普及型產(chǎn)品之中，進入普通百姓家宛渐。例如電子玩具竞漾、游戲機、學習機以及其他家用電器產(chǎn)品等窥翩。就連汽車這種傳統(tǒng)的機械產(chǎn)品也滲透進了微電子技術(shù)业岁，采用微電子技術(shù)的電子引擎監(jiān)控系統(tǒng)、汽車安全防盜系統(tǒng)寇蚊、出租車的計價器等已得到廣泛的應用笔时，現(xiàn)代汽車上有時甚至要有十幾到幾十個微處理器。

本文主要介紹一下“旋片真空泵在微電子工業(yè)中成功應用”仗岸， 旋片真空泵廣泛地應用于冶金允耿、機械、軍工扒怖、電子较锡、化工、輕工盗痒、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門蚂蕴。已普遍應用于食品的真空包裝，塑料工業(yè)的真空吸塑成形俯邓。印刷行業(yè)的紙張輸送骡楼，真空夾具，以及真空吸引等稽鞭。